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让中国芯用上中：国泵
宁波5月11日电题：浙大“三剑客”县城创业：让中国芯用上“中国泵”
作者张茵张斌
在浙江省宁波市宁海县，一家由三位浙江大学校友创办的科技企业，经过数年自主研发，成功量产了半导体湿法工艺核心零部件——超洁净磁悬浮泵，并在市场上广泛应用。
日前，邵杰杰在企业研发场所(资料图)。受访者供图这款装置主要负责向晶圆生产设备精准输送化学药液。传统泵因机械摩擦会产生微粒，压力波动也会影响晶圆良率。而磁悬浮泵利用磁场将叶轮悬浮于腔体中，无机械磨损、不产生颗粒，且转速控制精度高，有助于提升芯片制造的良品率。
产品研发团队负责人、浙江大学工学博士邵杰杰介绍，该产品的技术难点在于既要实现无接触运转以避免污染，又要保证压力输出极度稳定。
与他一同扎根宁海的，还有两位浙大校友：一位是他的同门师弟，深耕控制算法领域；另一位是他的同窗好友，有着核电站生产管理从业经历，负责工厂生产运营管理。
2020年，“三剑客”毅然瞄准半导体行业最难突破的技术瓶颈之一——磁悬浮泵。三人栖身简陋的车间，全力投身技术攻坚。
“我们选择做最难的事。”邵杰杰坦言。他打了个比方：有些技术难题如同普通算术题，只要投入时间，慢慢打磨就能攻克；而磁悬浮泵更像高阶数学题，门槛极高、突破极难，可一旦率先突破，便能筑起旁人难以追赶的技术壁垒。
攻坚之路充满未知，谁也看不清前行的方向。“常常陷入瓶颈，束手无策，就是想不出解决方案。”邵杰杰回忆，即便如此，整个团队依旧咬牙坚持。除此之外，从大城市回到县城创业，众人还要承受外界眼光与自我期许带来的双重心理负担。
邵杰杰感慨，回乡创业是有压力的，“父母一开始并不支持，担心我在家乡创业失败，会被熟人议论，被同学朋友嘲讽。他们总说，在外面创业失败了无人知晓，回到家乡创业失利了，反倒脸上无光。”
但他最终还是说服了家人，也打动了两位校友。邵杰杰回忆，当时他和伙伴们坦诚交心：做实业必须沉下心，摒弃赚快钱的浮躁心态。“大城市诱惑多、人心容易浮躁，小地方虽不显山露水，却有着扎实的制造配套和优质的营商环境，更能让人静下心深耕实业，专心做事。”
事实证明，他们的判断是对的。当研发需要快速打样时，宁海本地发达的模具和精密加工产业提供了强有力的配套支撑。创业离不开沃土，而这里恰好具备得天独厚的创业条件。
终于，该团队磁悬浮泵核心技术研发实现突破，产品也成功量产。2022年，作为中国国内集成电路高端工艺装备的先进企业之一，北京北方华创微电子装备有限公司(下称：北方华创)对上述产品进行验证。结论显示，其性能与进口产品相当。随后，北方华创不仅成为该团队的核心客户，还入股了这家初创企业，与其深度绑定。
2023年，深圳一家芯片制造厂急需此类泵，国内其他研发单位尚无成熟产品，邵杰杰团队按时交付了订单。2024年，在北方华创的供应商名单中，这家宁海企业从备选供应商跻身核心供货行列。
2025年，一家国际知名科技集团派出13人的专业团队到宁海实地验厂。这是该集团首次对中国此类核心零部件供应商进行资质审核。经过严格对比测试，对方认定：该团队的产品在温度稳定性、转速控制等关键指标上，表现不逊于甚至优于其他国家同类产品。邵杰杰带领的企业，由此成为第一家进入其全球供应链的中国磁悬浮泵供应商。
“半导体行业准入门槛很高，客户对产品可靠性要求极为严格。”邵杰杰介绍，目前，企业已从最初的3人发展到70余人的专业团队，产品覆盖全系列大、中、小功率磁悬浮泵。与此同时，他还受聘担任当地三所中小学的科技副校长，言传身教，鼓励青少年崇尚科学、勇敢追梦。(完)
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