发力原子级制造江苏南京：探索原子造分子新范式

　　南京6月18日电(记者朱晓颖)第三届中法未来产业合作论坛18日在南京举行，中外与会嘉宾围绕世界未来产业发展趋势、培育未来产业等话题展开研讨。记者从会议中获悉，当前江苏南京发力“原子级制造”，聚焦探索“以原子造分子”新范式。

　　原子级制造面向世界科技前沿，有望推动制造能力迈向极限水平，有望对集成电路、先进材料、高端装备等领域产生广泛、深远影响，是未来产业的重要方向。

　　今年1月，原子级制造重大科技基础设施技术产业合作共建签约仪式在南京举行，标志着南京市原子级制造重大科技基础设施在“产学研用”协同体系建设方面迈出了实质性步伐。根据协议，南京大学与厦门大学、中国工程物理研究院、中国机械工业集团有限公司等单位推进落实合作协议，围绕原子级制造重大科技基础设施建设，在基础研究协同、关键材料与器件研究、工程化验证、平台共建及人才培养等方面开展实质性合作，加快形成协同创新机制。

　　南京大学原子制造研究院、南京原子制造研究所相关负责人在接受记者采访时介绍，南京大学建设了探索以“原子造分子”新范式的原子级制造大科学装置，典型案例中，可以以镓(Ga)、砷(As)、氧(O)、氢(H)等元素为基础，实现分钟级组成创制数百种人工结构分子、每种每秒上一个的创制能力，为未来产业发展提供源头创新供给。

　　在直面产业难题、攻克核心瓶颈方面，南京大学针对当代芯片、未来芯片制造中对损伤的极限抑制需求，开发原子级刻蚀、清洗样机，在石墨烯、氧化膜、金刚石芯片等场景实现应用验证。处理后，石墨烯器件迁移率大幅提升，逼近大块材料的最优值，支撑突破未来芯片性能瓶颈；在高端粉体与粉末冶金领域，已成功制备百克级的钨(W)、镍(Ni)的团簇粉体，支撑制备出钨镍铁粉末冶金片材，抗拉强度提升近20%，支撑高端粉体国内外标准体系建设。

　　在加速成果转化、打通产业化链条方面，南京大学推进超精密选择气体团簇原子级加工放大样机及日产百克级团簇粉体中试线建设，促进成果从实验室迈向产线。此外，《原子制造科学与技术》专著同步出版，夯实了理论与工程基础。

　　南京大学原子制造研究院、南京原子制造研究所相关负责人表示，南京大学正加快构建原子级制造创新体系，为培育新质生产力、服务高水平科技自立自强提供支撑。(完)

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